ナノ構造可視化サービス(TEM)

透過電子顕微鏡(TEM)を用いて、薄膜材料の多層構造、半導体チップの断面構造などのナノ構造可視化サービスを行っております。

FIB加工/TEM観察を用いた断面構造の可視化

薄膜材料における現象解明や材料設計を容易にするために、透過電子顕微鏡(TEM)を用いた1nm~数百nmの大きさのナノ構造の可視化サービスを提供します。 集束イオンビーム(FIB)加工を用いて場所決めを行ってから薄片試料を作製することによって、微小な部位を指定して、デバイス断面をTEM観察することが可能です。

また、試料に入射させる電子線をスキャンさせる走査型透過電子顕微鏡(STEM)観察モードを用いると、同時に元素分析も実施することができます。

FIB外観 TEM外観 FIB外観 TEM外観

薄膜材料の多層構造の可視化

ナノメートルオーダーの多層薄膜の断面構造を可視化できます。試作品の膜厚計測が可能です。

多層薄膜のSTEM観察像 多層薄膜のSTEM観察像

半導体チップの断面構造の可視化

ナノメートルオーダーのLED発光層の構造や、金属電極膜の構造を可視化でき、同時に元素分布のマッピングもできます。
試作品の構造の確認や、試験前後での多層膜間の元素拡散状態の比較などが可能です。

発光層のSTEM観察像 発光層の元素マッピング像 発光層のSTEM観察像 発光層の元素マッピング像