微量成分分析

各種溶液、薄膜、基板、気密パッケージに含まれるppm~ppbオーダーの微量化学物質(金属、無機イオン)や微量ガス成分を分析いたします。

試料破壊室に高純度アルゴンガスを充満させた後、気密パッケージの破壊(穿孔)を行い、デバイス中から噴出したガス成分の定量評価を行います。

  • レーザパッケージ内の不純物ガス定量
  • MEMSセンサ内の封止環境検査
  • 各種薄膜デバイスの気密パッケージ評価
デバイス中から 噴出したガス成分の定量評価

微量金属の分析

化学的前処理とICP発光分析(ICP-AES)およびICP質量分析(ICP-MS)を用いて、材料中に存在する微量金属の分析を行います。

  • シリコンウエハ表面の微量金属不純物分析
  • 電子デバイス材料中の微量金属ドーパント濃度測定
  • 溶出試験後の抽出液中の微量金属分析
ICP質量分析装置

無機イオンの分析

イオンクロマトグラフィー(IC)により、ハロゲン、アルカリ金属等のppm~ppbオーダーの微量無機イオンを定量します。

  • めっき液等溶液中の微量無機イオン定量
  • 大気中浮遊物質捕集液の無機イオン分析
  • 洗浄水の清浄度評価(微量無機イオン定量)
イオンクロマト分析装置