材料分析 Materials Analiysis

CPを用いた精密断面加工

2011年1月24日

断面作製の手法として従来から用いられている機械研磨では、例えば金(Au)めっきのような軟らかい材料の場合、めっき膜の伸び、界面のダレ、研磨キズが残るなどの問題がありました。(図1)

そこで、CP(クロスセクションポリッシャ)装置を用いることによって、アルゴンイオンビーム照射による損傷が少ない断面作製が可能になり、めっき膜の伸び、界面のダレ、研磨キズなどの問題が解決できるようになりました。(図2)

1. 機械研磨による断面研磨
1. 機械研磨による断面研磨
2. CP装置による断面研磨
2. CP装置による断面研磨

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