ＣＰを用いた精密断面加工

2011年1月24日

断面作製の手法として従来から用いられている機械研磨では、例えば金（Ａｕ）めっきのような軟らかい材料の場合、めっき膜の伸び、界面のダレ、研磨キズが残るなどの問題がありました。（図１）

そこで、ＣＰ（クロスセクションポリッシャ）装置を用いることによって、アルゴンイオンビーム照射による損傷が少ない断面作製が可能になり、めっき膜の伸び、界面のダレ、研磨キズなどの問題が解決できるようになりました。（図２）

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