フッ酸前処理を用いたＩＣＰ分析について

2011年9月22日

材料中のppmオーダの微量成分を分析できるICP分析について、弊社にて適用できる分野の拡大を行いましたので、ご紹介します。

これまでは、分解処理が不要な水試料や、金属やポリマーなどの分解が比較的容易な試料を対象としてきましたが、今回、フッ酸処理による試料分解法を導入することによって、今まで実施できなかったガラス、シリコンウエハ、レアメタル酸化物などのICP分析を行うことが可能になりました。

これにより、シリコンウエハの微量不純物や酸化膜成膜ウエハなどへも適用範囲を広げましたので、今後は幅の広い微量成分分析サービスを提供させていただきます。

是非、ご利用いただきますよう、お願いいたします。

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