ダメージレス表面観察＆数十nmオーダーでの元素分布の可視化

材料ソリューション部　無機分析課の仲井です。

　新規開発した材料の数十nmからmmオーダーに亘る広範囲での

• 電子線のダメージを受けやすい試料の表面SEM（走査電子顕微鏡）観察
• 高分解能での元素分析（エネルギー分散型X線分析：EDX）、および リチウム（Li ）の分析

　について、お困り事はございませんでしょうか？

低加速電圧に制御することで、試料への電子線ダメージを軽減させた状態で、高分解能観察ができるようになりました。また、元素分析は、従来の検出器と比較して検出感度が約15倍向上したウインドレス検出器を搭載したことにより、SEM像に近い高分解能でのマッピングやリチウム（Li ）の検出が可能になりました。