材料分析 Materials Analiysis

ダメージレス表面観察&数十nmオーダーでの元素分布の可視化

2020年3月26日

材料ソリューション部 無機分析課の仲井です。

 新規開発した材料の数十nmからmmオーダーに亘る広範囲での

  • 電子線のダメージを受けやすい試料の表面SEM(走査電子顕微鏡)観察
  • 高分解能での元素分析(エネルギー分散型X線分析:EDX)、および リチウム(Li )の分析

 について、お困り事はございませんでしょうか?

●エネルギー分散型X線分析装置(EDX)/オックスフォード /インスツゥルメンツ社製 /Ultim® Extreme ●走査電子顕微鏡(SEM)/日本電子社製/JSM-7900F

低加速電圧に制御することで、試料への電子線ダメージを軽減させた状態で、高分解能観察ができるようになりました。また、元素分析は、従来の検出器と比較して検出感度が約15倍向上したウインドレス検出器を搭載したことにより、SEM像に近い高分解能でのマッピングリチウム(Li )の検出が可能になりました。

●リチウム箔の分析事例

・定性分析チャート ・Li元素マップ像

開発中の材料から実装デバイスまで、様々な元素分析に対応できますので、是非ご活用ください。

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