超高精度三次元測定機 UA3P/UA3P-L さまざまな微細形状測定で、ナノ精度でのものづくりをサポートします

UA3P(光学部品向け)

特徴

  • 最高精度0.01µm、平面から最大傾斜75度まで測定可能。
  • 測定範囲は、2µmの微細部から最大範囲400mm

測定対象

  • カメラ用(DSC)非球面レンズ
  • スマホ用レンズ
  • DVD、BDレンズ
  • 自由曲面ミラー  /他

主要スペック

UA3P-300

  • 測定精度 : 10~50nm
  • 最小測定力 : 0.15mN
  • 測定範囲 : 30×30×20mm
  • 最大測定速度 : 5mm/s
  • 測定最大角度 : 75度

【UA3P製品ラインナップ】

品名

測定範囲

測定タクト

UA3P-300

30×30×20mm

0.005~5mm/s

UA3P-4

100×100×35mm

0.01~10mm/s

UA3P-5

200×200×45mm

0.01~10mm/s

UA3P-500H

200×200×45mm

0.01~20mm/s

UA3P-650H

400×400×120mm

0.01~20mm/s

UA3P-L(機械部品向け)

特徴

  • 垂直面、テーパ面を±150nm精度で高速スキャン測定
  • 0.3mNの弱い力で金型の内径、外形の直径、真円度、同軸度などを測定
  • 最小50µmの微細孔、精密歯車、精密金型を高精度測定

測定対象

  • 微細ノズル穴(最小50µm)
  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
  • カメラ用(DSC)レンズ鏡筒
  • 精密歯車      /他

主要スペック

UA3P-400L

  • 測定精度 : ±150nm
  • 最小測定力 : 0.3mN
  • 測定範囲 : 100×100×50mm
  • 最大測定速度 : 2mm/s
  • 測定最小内径 : 50µm