超高精度三次元測定機

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『オプション』

さまざまな測定を実現する、UA3Pのオプションを紹介いたします。

ハードウェア

オプション（メカ）		内容
1	オートティルトステージ（2軸、3軸）	測定物の形状データや基準面のデータから傾きを自動で補正する機構
2	ウェーハチャック＆ステージ	ウェーハレンズ測定用のエアーチャックステージと認識カメラを追加
3	傾き偏心測定治具（各種）	傾き偏心測定に使う測定に使う治具（ソフトオプション(9）と組み合わせて使用）

上面測定用スタイラス

側面測定用スタイラス

側面セラミックスタイラスφ1mm (L=30mm)
(PED-1630M035)

傾き偏心測定治具

レンズ面間偏心測定
3個の校正用基準球を備えた治具にレンズを固定し、レンズの両面を測定することによりレンズ面間偏心を評価します。

観察カメラ

対象機種：全機種
測定箇所を拡大表示し、スタイラスの位置合わせを容易にします。

ウェーハレベルレンズ（WLL）

対象機種：UA3P-500H/650H/700H
ウェーハ内のレンズ形状および傾き偏心評価が可能です。

※注意事項
※1. ルビースタイラスはアルミ材料や表面にコーティングがあるレンズを測定する場合、摩擦抵抗が大きくスタイラスを破損する場合がありますのでご注意ください。
※2. 側面測定用スタイラス（φ30μｍ～φ300μｍ）を使用する場合、目視ではスタイラス先端部が見えにくいため測定時に観察カメラが必要になることがあります。
◆ この他にも、スタイラスの長さ、先端球の大きさ・材質が違うものを用意しておりますので、詳細につきましては弊社各営業所までお問い合せください。

ソフトウェア

オプション（ソフト）		内容
1	円周走査測定ソフト	中心に穴が開いた測定物に対応した円周方向走査NCパスを追加
2	Top Flatセンタリング機能	中心がフラットに近い形状の測定物でもセンタリングすることができる機能
3	ユーザ定義式ソフト	ユーザー側で定義した数式設計式をUA3Pの設計式として登録する機能
4	回転対称フィッティングソフト	測定物の形状データから、回転対称形状の非球面係数をフィッティングして算出する機能
5	ダイヤスタイラス補正ソフト	基準球データから、スタイラス先端形状を補正して登録・測定に使用する機能
6	点群データ設計式作成ソフト	CADデータから変換された点群（客先提供）からスプライン曲面を作成する機能
7	測定点数100万点、取り込み点数2000点/秒	測定点数を拡張し、取り込み点数を増やす機能
8	V溝測定ソフト（オフライン）	測定データから、形状の寸法を評価する機能
9	傾き偏心評価ソフト（オフライン）	治具を使って評価したデータから、レンズの表と裏の傾きと偏心を評価する機能
10	自動測定ソフト	測定手順をプログラム化し、自動で実行する機能
11	ウェーハレンズ測定ソフト	メカオプション（２）と組み合わせてウェーハレンズ測定・評価を行う機能