ラインナップ
仕様
UA3Pラインナップの主な仕様について紹介いたします。
1. 標準タイプ
UA3P-300
UA3P-400
2. 大型タイプ
UA3P-500H
UA3P-550H
UA3P-650H
UA3P-700H
3. 上面・側面測定機タイプ（Twinプローブ）
UA3P-400T*1
4. 高精度タイプ
UA3P-3100
UA3P-4000
UA3P-5000H
*1 ・本製品は「外国為替及び外国貿易法」で定められた規制貨物に該当の製品（又は技術）です。
・該当製品（または技術）を輸出する場合又は国外に持ち出す場合は、事前に日本国政府の輸出許可が必要ですので、必ずご連絡ください。
*2 基準球の形状誤差を含む *3：当社測定規定による *4：空調の風が直接本体に当たらないこと
*3 当社測定規定による
*4 空調の風が直接本体に当たらないこと
UA3P仕様一覧
オプション
さまざまな測定を実現する、UA3Pのオプションを紹介いたします。
ハードウェア
オプション（メカ） | 内容 | |
|---|---|---|
1 | オートティルトステージ（2軸、3軸） | 測定物の形状データや基準面のデータから傾きを自動で補正する機構 |
2 | ウェーハチャック＆ステージ | ウェーハレンズ測定用のエアーチャックステージと認識カメラを追加 |
3 | 傾き偏心測定治具（各種） | 傾き偏心測定に使う測定に使う治具（ソフトオプション(9）と組み合わせて使用） |
上面測定用スタイラス
上面ダイヤスタイラスR2D60
(PED-16100112)
上面セラミックスタイラスR500μm
(PED-1610M079)
上面ダイヤスタイラスR2D60 (L=12mm)
(PED-16100116)
上面ダイヤスタイラスR2D45 (EM)
(PED-1610M106)
上面ダイヤスタイラスR2D30
(PED-1610M052)
上面ダイヤスタイラスR5D45
(PED-1610M077)
側面測定用スタイラス
側面ルビースタイラスφ2mm
(PED-1630M020)
側面ルビースタイラスφ1mm
(PED-1630M021)
側面ルビースタイラスφ300μm
(PED-1630M022)
側面セラミックスタイラスφ1mm (L=30mm)
(PED-1630M035)
側面超鋼スタイラスφ80μm
(PED-1630M024)
側面超鋼スタイラスφ30μm
(PED-1630M025)
傾き偏心測定治具
レンズ面間偏心測定
3個の校正用基準球を備えた治具にレンズを固定し、レンズの両面を測定することによりレンズ面間偏心を評価します。
観察カメラ
対象機種：全機種
測定箇所を拡大表示し、スタイラスの位置合わせを容易にします。
ウェーハレベルレンズ（WLL）
対象機種：UA3P-500H/650H/700H
ウェーハ内のレンズ形状および傾き偏心評価が可能です。
※注意事項
※1. ルビースタイラスはアルミ材料や表面にコーティングがあるレンズを測定する場合、摩擦抵抗が大きくスタイラスを破損する場合がありますのでご注意ください。
※2. 側面測定用スタイラス（φ30μｍ～φ300μｍ）を使用する場合、目視ではスタイラス先端部が見えにくいため測定時に観察カメラが必要になることがあります。
◆ この他にも、スタイラスの長さ、先端球の大きさ・材質が違うものを用意しておりますので、詳細につきましては弊社各営業所までお問い合せください。
ソフトウェア
オプション（ソフト） | 内容 | |
|---|---|---|
1 | 円周走査測定ソフト | 中心に穴が開いた測定物に対応した円周方向走査NCパスを追加 |
2 | Top Flatセンタリング機能 | 中心がフラットに近い形状の測定物でもセンタリングすることができる機能 |
3 | ユーザ定義式ソフト | ユーザー側で定義した数式設計式をUA3Pの設計式として登録する機能 |
4 | 回転対称フィッティングソフト | 測定物の形状データから、回転対称形状の非球面係数をフィッティングして算出する機能 |
5 | ダイヤスタイラス補正ソフト | 基準球データから、スタイラス先端形状を補正して登録・測定に使用する機能 |
6 | 点群データ設計式作成ソフト | CADデータから変換された点群（客先提供）からスプライン曲面を作成する機能 |
7 | 測定点数100万点、取り込み点数2000点/秒 | 測定点数を拡張し、取り込み点数を増やす機能 |
8 | V溝測定ソフト（オフライン） | 測定データから、形状の寸法を評価する機能 |
9 | 傾き偏心評価ソフト（オフライン） | 治具を使って評価したデータから、レンズの表と裏の傾きと偏心を評価する機能 |
10 | 自動測定ソフト | 測定手順をプログラム化し、自動で実行する機能 |
11 | ウェーハレンズ測定ソフト | メカオプション（２）と組み合わせてウェーハレンズ測定・評価を行う機能 |
円周走査測定ソフト
測定物を円周状に走査して測定します。
- 中心部が中空の測定物も測定可能。
- 同心円のライン数は最大1200ライン
ユーザ定義式ソフト（自由曲面など）
標準登録されているレンズ設計式以外の設計式にも対応が可能です。設計式、偏微分式の計算部分をC言語で作成することで、
"ISO10110-12"の全てを網羅できます。
点群データ設計式作成ソフト
与えられた3次元の点群データに対して、スプライン関数を用いて短形状の曲面を作成します。
フィッティングソフト（回転対称）
設計式が不明な測定物の設計式を、測定データから求めることが可能です。
自動測定
複数のレンズを連続で測定およびアライメント、データ出力まで自動で対応します。
対象機種：
UA3P-400Tを除く全機種
※400T用自動測定は、GUI操作を強化した別のオプションソフトがあります。ご興味がある方はお問合せください。
- プローブの移動、フォーカスON/OFFなど全て自動
- 各種エラーの発生にも対応可能
※治具はお客様準備
