形態観察

設備

略称

走査電子顕微鏡

SEM

低エネルギー走査電子顕微鏡

LE-SEM

低真空走査電子顕微鏡

LV-SEM

透過電子顕微鏡

TEM

走査型プローブ顕微鏡

SPM

3次元粗さ顕微鏡

電子線後方散乱回折装置

EBSD

接触式表面段差計

X線CT装置

集束イオンビーム加工装置

FIB

イオンミリング加工装置

ブロードイオンビーム加工装置

BIB

表面分析

設備

略称

X線光電子分光分析装置

XPS, ESCA

オージェ電子分光分析装置

AES

二次イオン質量分析装置

D-SIMS

飛行時間型二次イオン質量分析装置

TOF-SIMS

X線マイクロアナライザ

XMA, EPMA

無機分析

設備

略称

誘導結合プラズマ発光分光分析装置

ICP-AES

誘導結合プラズマ質量分析装置

ICP-MS

イオンクロマトグラフ分析装置

IC

蛍光X線分析装置

XRF

X線回折装置

XRD

有機分析

設備

略称

ガスクロマトグラフ分析装置

GC

ガスクロマトグラフ質量分析装置

GC/MS

直接導入型質量分析装置

DI-MS

高速液体クロマトグラフ分析装置

HPLC

ゲル浸透クロマトグラフ分析装置

GPC

フーリエ変換赤外分光分析装置

FT-IR

顕微レーザーラマン分析装置

Raman

核磁気共鳴分析装置

NMR

電子スピン共鳴分析装置

ESR

紫外・可視・近赤外分光光度計

UV-VIS-NIR

全有機体炭素分析

TOC

物性評価

設備

略称

示差熱・重量分析装置

TG/DTA

示差走査熱量計

DSC

熱機械分析装置

TMA

動的粘弾性測定装置

DMA

全自動比表面積測定装置

粒度分布測定装置(レーザー回折・散乱式)

カールフィッシャー水分計

マイクロビッカース硬度計

ダイナミック硬度計

自動接触角計